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測(cè)厚儀/瓦斯檢測(cè)儀
ZH10669自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀
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產(chǎn)品名稱:
ZH10669自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀
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ZH10669
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簡(jiǎn)單介紹
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。 儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
ZH10669自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀
的詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
指標(biāo):
測(cè)量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm;折射率范圍:1-10
測(cè)量示值:≤1nm
入 射 角:20°- 90°精度≤0.05°
偏振器方位角范圍:0°- 180°
度盤刻度:每格1度
偏振器步進(jìn)角:0.014°/步
儀器測(cè)量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時(shí))
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:0.5nm和0.005
光學(xué)中心高度:80mm
允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
外形尺寸:680*390*310mm
主機(jī)重量:26kg
儀器成套性:
主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計(jì)算機(jī))。
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